Step & Repeat NIL Laborsysteme

PROFACTOR entwickelt und baut Nanoimprint Tools für den Einsatz in Forschungs- und Entwicklungslaboren. Unser Tools ermöglichen eine automatische und kostengünstige Replikation von Mikro- und Nanostrukturen.

Die Tools können an Ihre Anforderungen angepasst werden. Im Rahmen von Applikations-Workshops können die Tools in unserem Labor getestet werden.

Ideal für automatisierte Materialprüfung und das Herstellen von Imprints im Labormaßstab. Geringer Invest und Platzbedarf.

Unsere Tools

Multitool

Das Multitool ermöglicht das präzise und schnelle Vervielfachen von Mikro- und Nanostrukturen, wobei für jeden Imprint der Resist einzeln appliziert wird.

Vorteile

Geringer Platzbedarf. Einfache Bedienung und intuitive Software.

Spezifikation

• 4 Achsen-System
• Substratheizung
• Resist-Dispenser
• Mikroskopkamera
• Hochleistungs-UV-LED-Modul

 

Soft NIL-Stepper

Für Nanostrukturen, schnell durch einmalige Resist Applikation

Spezifikation

• Bis zu 360 Imprints pro Stunde (materialabhängig)
• Einfache Handhabung und Membranwechsel
• Hochleistungs-UV-LED-Modul für die Aushärtung
• Vakuumtisch zur einfachen Befestigung von Substraten, zum Beispiel:
  100 mm Wafer
  1×1 Zoll² Glas
  Bis zu A5 Substratgröße
  Tischbewegung (X-Y-Z): 150 x 150 x 70 mm³
• Stempelgröße bis zu 15 x 15 mm²

 

Anwendungsfelder

• Einsatz in Forschungs- und Entwicklungslabore
• Untersuchung von Standzeit Stempel, Material-eigenschaften
• Herstellung großflächiger Multimaster-Templates
• Herstellung großer Stückzahlen kleiner NIL Bauteile