Hochpräzise Nanostrukturen sind die Grundlage für zahlreiche Zukunftstechnologien – von der Photonik über Life Sciences bis hin zu innovativen funktionalen Bauelementen.

Herausforderungen in der Forschung

Aber, die reproduzierbare Übertragung von Nanostrukturen von kleinen Proben auf größere Substrate stellt jedoch nach wie vor eine große technische Herausforderung dar.

Präzision ist nur der Anfang.

Skalierung ist anspruchsvoll.

Reproduzierbarkeit ist unverzichtbar.

Ohne eine zuverlässige Step-and-Repeat-Technologie stehen Forschende häufig vor folgenden Herausforderungen:

• Lange Prozesszeiten
• Schwankende Replikationsqualität
• Begrenzter Durchsatz

Um Nanofabrikation in größere Anwendungen zu überführen, ist diese Technologie ein entscheidender Schritt.

Nanoimprint Stepper

Gemeinsam mit Prof. Dostalek hat PROFACTOR erfolgreich einen Step-and-Repeat Nanoimprint Stepper am Institut für Physik der Tschechischen Akademie der Wissenschaften (FZU) in Prag geliefert und in Betrieb genommen.

Das neue System ermöglicht dem Forschungsteam von Prof. Dostalek einen präzisen und reproduzierbaren Nanoimprint-Lithografie Prozess auf größeren Substraten und und erweitert die Forschungsmöglichkeiten um eine skalierbare Nanoimprint-Lithografie.

Bei der Step-and-Repeat Nanoimprint-Lithografie (NIL) wird ein nanostrukturierter Stempel in eine dünne UV-härtbare Polymerschicht geprägt und anschließend mit UV-Licht ausgehärtet.

Durch die präzise Wiederholung dieses Prozesses lassen sich komplexe Nanostrukturen hochauflösend und reproduzierbar über größere Flächen herstellen, mit folgenden Eigenschaften:

• Höhere Strukturgenauigkeit
• Höherer Durchsatz und verbesserte Reproduzierbarkeit
• Echtzeitbeobachtung während des Prägeprozesses

Das Ergebnis

Höhere Prozesskontrolle.

Verbesserte Reproduzierbarkeit.

Der Weg von der Forschung zur Anwendung wird deutlich verkürzt.

Die Forschenden am FZU werden den neuen NIL-Stepper künftig für Anwendungen in der Nanofluidik und den Life Sciences einsetzen.

Mit der erfolgreichen Installation unterstützt PROFACTOR das FZU bei der Weiterentwicklung skalierbarer Nanofabrikation und schafft neue Möglichkeiten für wissenschaftliche und industrielle Kooperationen.

Ihr Ansprechpartner für Nanoimprint-Lithografie

Sie möchten mehr über unsere Nanoimprint-Lithografie-Systeme oder konkrete Anwendungsmöglichkeiten erfahren?
Wir freuen uns auf den Austausch. Kontakt: Michael Haslinger unter solutions@profactor.at.