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NILaustria

Innovation

Wir verwenden Nanoimprint Lithographie für Grundlagen und angewandte Forschung, die der Entwicklung von neuartigen Produkten mit hohem Mehrwert dient. Für Firmen und Forschungseinrichtungen, die an Nanoimprint Lithographie interessierte sind, die mit ihren Nanostrukturierungstechnologien unzufrieden sind, ist unser Projekt ein Zusammenschluss aus Forschern und Industriepartner, die Forschung, Know-How und Problemlösungskapazitäten im Bereich NIL bieten. Im Gegensatz zu einzelnen Unternehmen haben wir im NILaustria Konsortium ein breites Spektrum an Know-How sowohl aus den Bereichen Prozesstechnologie als auch der Anwendungsseite. Diese Expertise reicht von Grundlagenforschung bis hin zu angewandten Forschung.

Für Unternehmen, die Nanosturkturierungsmethoden benötigen, und mit konventionellen Methoden nicht das auslangen finden, bietet die Nanoimprint Lithographie ein neuartige Mikro- und Nanostrukturierungstechnologie, die höchste Auflösung bei gleichzeitigem hohen Durchsatz und geringen Kosten bietet. Beispielsweise bietet NIL im Gegensatz zu optischer oder Elektronenstrahllithographie, hohen Durchsatz kombiniert mit extrem hoher Auflösung.

Zusammenfassung und Ergebnisse

Großflächiges Nanostrukturieren ist einer der größten Probleme in der Nanotechnologie.
Im vorgeschlagenen NILaustria Projekt Cluster wird das Konsortium Nanoimprint Lithographie (NIL) verwenden um eine vielseitig und kosteneffiziente Lösung bereitzustellen, um Nanostrukturen von ultra-hoher Qualität auf großen Flächen zu erreichen. In allen Varianten von NIL wird ein nanostrukturierter Stempel mit einem Substrat in Kontakt gebracht, was zu einem Musterübertrag führt.

Nanoimprint Lithographie besitzt eine Vielzahl an Vorteilen wie ultra hohe Auflösung bei gleichzeitigem hohem Durchsatz, die direkte Möglichkeit 2.5dimensionale Strukturen herzustellen, in einem schnellen und kosteneffizienten Prozess implementiert in einer vergleichsweise einfachen und günstigen Maschine.

Die Idee hinter NILaustria ist es, signifikante Fortschritte bei NIL zu erreichen, indem NIL für verschiedene Anwendungen in Forschung und Entwicklung verwendet wird und gleichzeitig Engpässe, wie die Stempelherstellung behandelt werden. Die Verwendung von NIL für verschiedene Prozesse und Zwecke wird die Leistungsfähigkeit verbessern und die Möglichkeiten von NIL in einer großen Zahl von industriellen Anwendungen erweitern. Nanotechnologie steht am Rande ihrer vollen kommerziellen Wirkung und gerade jetzt könnte NIL das ausschlaggebende Instrument sein, um das volle Potential zur Geltung zu bringen. NILaustria ist bereit den entsprechenden Input zu liefern Das NILaustria Konsortium vereinigt alle Forschungseinrichtungen in Österreich, die NIL betreiben und die beiden Firmen in Österreich, die starke Verbindungen zu NIL besitzen, nämlich EVG als NIL Gerätehersteller und IMS, die eine neue Methode zur Stempelherstellung entwickeln. Mit Forschern und Firmen, die NIL für Ihre Anwendungen verwenden wollen, wir das Konsortium ideal ergänzt.

Die Bemühungen von NILaustria warden in der Etablierung einer starken Wissens und Technologie-Basis für Nanoimprint Lithographie in Österreich resultieren, die auf europäischer und internationaler Ebene sichtbar sein wird. Verschiedenste Herausforderungen von großer wissenschaftlicher Relevanz werden in Angriff genommen werden, was den Cluster tatsächlich interdisziplinär machen wird. NILaustria wird aus 9 Forschungsprojekten bestehen (5 BI und 4 BII), die alle direkt applikationsgetrieben sind. NIL ist ein zentrales Thema in allen Projekten, vor allem als Herstellungsmethode, aber auch als Ziel der Forschung selbst. Über dieses Thema sind alle Projekte stark untereinander vernetzt, was durch Arbeitsgruppen zu verschiedenen Aspekten von NIL in Projektcluster repräsentiert wird.

NILaustria beinhaltet das Management und die Verbreitung der erzielten Ergebnisse innehalb einer Business Interest Group (BIG) des NILaustria cluster. Ziel ist die Stärkung der Nanoimprint Kompetzen in Österreich und die Verwertung des Wissens in der Industrie.

PROJEKTDETAILS


Laufzeit:

April 2008 bis März 2011 – mit Möglichkeit auf Verlängerung


Total Budget:
EUR 297.300


Konsortium:

  • PROFACTOR GmbH »
  • Austrian Research Centers  »
  • Happy Plating GmbH  »
  • IMS Nanofabriction AG » 
  • EVG, E. Thallner GmbH » 
  • Technische Universität Wien »
  • Johannes Kepler Universität Linz »
  • MB-Technologies GmbH» 
  • JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH »
  • Technische Universität Graz »
  • Fachhochschule Vorarlberg »
  • Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz »

Dieses Projekt wurde im Rahmen der Thematischen Programmlinie „Österreichischen Nanoinitiative“ kofinanziert.


Kontakt:

Gesamtkoordinator
Dr. Michael Mühlberger
michael.muehlberger [at] profactor.at


Weitere Links:

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